Россия, Мордовия, г. Саранск, ул. Пролетарская, д. 126 | +7 (8342) 29-60-34
Для анализа качества выращенных эпитаксиальных структур карбида кремния создана уникальная специализированная лаборатория включающая следующее контрольно-измерительное оборудование:
Установка измерения концентрации легирующей примеси на базе ртутного зонда
Установка измерения шероховатости поверхности эпитаксиальных слоев карбида кремния на базе стилусного профилометра
Установка измерения толщины эпитаксиального слоя карбида кремния на базе ИК Фурье спектрометр
Прямой микроскоп с системой анализа изображения
Установка измерения кристаллографического совершенства эпитаксиальных слоев карбида кремния на базе рентгеновского дифрактометра